辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜
物理学报
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物理学报  2001, Vol. 50 Issue (11): 2263-2268
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辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜
傅广生, 于威, 王淑芳, 李晓苇, 张连水, 韩理
河北大学物理科学与技术学院,保定071002
CARBON NITRIDE THIN FILMS PREPARED BY PULSED XeCl EXCIMERLASER DEPOSITION ASSISTED BY DC GLOW DISCHARGE
FU GUANG-SHENG, YU WEI, WANG SHU-FANG, LI XIAO-WEI, ZHANG LIAN-SHUI, HAN LI
河北大学物理科学与技术学院,保定071002

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