双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断
物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (20): 205208     doi:10.7498/aps.62.205208
气体、等离子体和放电物理 当期目录| 过刊浏览| 高级检索     
双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断
杜永权1, 刘文耀1, 朱爱民1 2, 李小松1 2, 赵天亮1 2, 刘永新2, 高飞2, 徐勇1 2, 王友年2
1. 大连理工大学等离子体物理化学实验室, 大连 116024;
2. 大连理工大学物理与光电工程学院, 大连 116024
Phase resolved optical emission spectroscopy of dual frequency capacitively coupled plasma
Du Yong-Quan1, Liu Wen-Yao1, Zhu Ai-Min1 2, Li Xiao-Song1 2, Zhao Tian-Liang1 2, Liu Yong-Xin2, Gao Fei2, Xu Yong1 2, Wang You-Nian2
1. Laboratory of Plasma Physical Chemistry, Dalian University of Technology, Dalian, 116024, China;
2. School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China

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