微流控技术制备ZnO纳米线阵列及其气敏特性
物理学报
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物理学报  2014, Vol. 63 Issue (20): 207102     doi:10.7498/aps.63.207102
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微流控技术制备ZnO纳米线阵列及其气敏特性
胡杰1 2, 邓霄1 2 3, 桑胜波1 2, 李朋伟1 2, 李刚1 2, 张文栋1 2
1. 太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心, 太原 030024;
2. 太原理工大学新型传感器与智能控制教育部与山西省重点实验室, 太原 030024;
3. 太原理工大学物理与光电工程学院, 太原 030024
Fabrication and characteristics of ZnO nanowires array gas sensor based on microfluidics
Hu Jie1 2, Deng Xiao1 2 3, Sang Sheng-Bo1 2, Li Peng-Wei1 2, Li Gang1 2, Zhang Wen-Dong1 2
1. Micro Nano System Research Center, College of Information Engineering, Taiyuan University of Technology, Taiyuan 030024, China;
2. Key Laboratory of Advanced Transducers and Intelligent Control System of the Ministry of Education and Shanxi Province, Taiyuan University of Technology, Taiyuan 030024, China;
3. College of Physics and Optoelectronics, Taiyuan University of Technology, Taiyuan 030024, China

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