物理学报
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物理学报  2016, Vol. 65 Issue (8): .      DOI: 10.7498/aps.65.086101
凝聚物质:结构、力学和热学性质 最新目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索 |
低温退火的X射线W/Si多层膜应力和结构性能
张金帅, 黄秋实, 蒋励, 齐润泽, 杨洋, 王风丽, 张众, 王占山
同济大学精密光学工程技术研究所, 同济大学物理科学与工程学院, 先进微结构材料教育部重点实验室, 上海 200092
Stress and structure properties of X-ray W/Si multilayer under low temperature annealing
Zhang Jin-Shuai, Huang Qiu-Shi, Jiang Li, Qi Run-Ze, Yang Yang, Wang Feng-Li, Zhang Zhong, Wang Zhan-Shan
Key Laboratory of Advanced-Structured Micro-Materials, Ministry of Education, Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China


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