化学机械抛光中纳米颗粒的作用分析
物理学报
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物理学报  2005, Vol. 54 Issue (5): 2123-2127
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化学机械抛光中纳米颗粒的作用分析
张朝辉1, 雒建斌2, 温诗铸2
(1)北京交通大学机电学院,100044; (2)清华大学摩擦学国家重点实验室,100084
Effects of nano-scale particles in chemical mechanical polishing process
Zhang Chao-Hui1, Luo Jian-Bin2, Wen Shi-Zhu2
(1)北京交通大学机电学院,100044; (2)清华大学摩擦学国家重点实验室,100084

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