超大规模集成电路互连电迁移自由体积电阻模型
物理学报
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物理学报  2005, Vol. 54 Issue (12): 5872-5878
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
超大规模集成电路互连电迁移自由体积电阻模型
宗兆翔1, 杜 磊1, 何 亮1, 庄奕琪2, 吴 勇2
(1)西安电子科技大学技术物理学院,西安 710071; (2)西安电子科技大学微电子研究所,西安 710071
Modeling of resistance changes based on the free volume in VLSI interconnection electromigration
Zong Zhao-Xiang1, Du Lei1, He Liang1, Zhuang Yi-Qi2, Wu Yong2
(1)西安电子科技大学技术物理学院,西安 710071; (2)西安电子科技大学微电子研究所,西安 710071

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