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SiCOH低介电常数薄膜的性质和键结构分析

王婷婷 叶 超 宁兆元 程珊华

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SiCOH低介电常数薄膜的性质和键结构分析

王婷婷, 叶 超, 宁兆元, 程珊华

Characterization and bonding configuration of SiCOH low-k films

Wang Ting-Ting, Ye Chao, Ning Zhao-Yuan, Cheng Shan-Hua
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-09
  • 修回日期:  2004-06-02
  • 刊出日期:  2005-01-05

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