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计及溅射损失的平行板静电场法离子引出和收集

谢国锋 王德武 应纯同

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计及溅射损失的平行板静电场法离子引出和收集

谢国锋, 王德武, 应纯同

Ion extraction and collection studied by parallel electrode method on considerin g sputtering loss

Xie Guo-Feng, Wang De-Wu, Ying Chun-Tong
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-07-13
  • 修回日期:  2004-12-22
  • 刊出日期:  2005-02-05

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