TiN/SiO<sub>2</sub>纳米多层膜的晶体生长与超硬效应
物理学报
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物理学报  2005, Vol. 54 Issue (4): 1742-1748
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TiN/SiO2纳米多层膜的晶体生长与超硬效应
魏 仑, 梅芳华, 邵 楠, 李戈扬, 李建国
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海 200030
Study on the growth and superhardness of TiN/SiO22 nanomultilayers
Wei Lun, Mei Fang-Hua, Shao Nan, Li Ge-Yang, Li Jian-Guo
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海 200030

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