电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量
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物理学报  2005, Vol. 54 Issue (5): 2153-2157
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电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量
何 威1, 蒲以康1, 陈 卓2
(1)清华大学工程物理系,北京 100084; (2)清华大学工程物理系,北京 100084;北京理工大学物理系,北京 100081
Measurement of metastable state densities and electron temperatures in an electron cyclotron resonance argon plasma
He Wei1, Pu Yi-Kang1, Chen Zhuo2
(1)清华大学工程物理系,北京 100084; (2)清华大学工程物理系,北京 100084;北京理工大学物理系,北京 100081

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