近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究
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物理学报  2005, Vol. 54 Issue (7): 3144-3148
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近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究
卢振武1, 李凤有1, 谢本超2
(1)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春 130 033; (2)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春 130 033;中国科学院研究生院,北京 100039
Investigation of the precision of curved surface fitting in the measurement of near-cylindrical surfaces’ mid-wavelength deformations
Lu Zhen-Wu1, Li Feng-You1, Xie Ben-Chao2
(1)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春 130 033; (2)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春 130 033;中国科学院研究生院,北京 100039

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