反应磁控溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长和超硬效应
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物理学报  2006, Vol. 55 Issue (11): 6013-6019
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反应磁控溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长和超硬效应
刘 艳, 董云杉, 岳建岭, 李戈扬
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海 200030
Crystal growth and superhardness effects of ZrN/AlON nanomultilayers synthesized by reactive magnetron sputtering
Liu Yan, Dong Yun-Shan, Yue Jian-Ling, Li Ge-Yang
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海 200030

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