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微波ECR等离子体增强磁控溅射制备SiNx薄膜及其性能分析

丁万昱 徐 军 李艳琴 朴 勇 高 鹏 邓新绿 董 闯

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微波ECR等离子体增强磁控溅射制备SiNx薄膜及其性能分析

丁万昱, 徐 军, 李艳琴, 朴 勇, 高 鹏, 邓新绿, 董 闯

Characterization of silicon nitride films prepared by MW-ECR magnetron sputtering

Ding Wan-Yu, Xu Jun, Li Yan-Qin, Piao Yong, Gao Peng, Deng Xin-Lü, Dong Chuang
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-05-24
  • 修回日期:  2005-09-12
  • 刊出日期:  2006-03-20

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