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激发频率对VHF-PECVD制备微晶硅材料性能的影响

高艳涛 张晓丹 赵 颖 孙 建 朱 峰 魏长春

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激发频率对VHF-PECVD制备微晶硅材料性能的影响

高艳涛, 张晓丹, 赵 颖, 孙 建, 朱 峰, 魏长春

Effect of excitation frequency on microcrystalline silicon materials prepared by VHF-PECVD

Gao Yan-Tao, Zhang Xiao-Dan, Zhao Ying, Sun Jian, Zhu Feng, Wei Chang-Chun
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-05-20
  • 修回日期:  2005-08-02
  • 刊出日期:  2006-03-20

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