微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究
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物理学报  2006, Vol. 55 Issue (5): 2234-2240
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微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究
阮 勇1, 张大成1, 王阳元1, 郇 勇2, 张泰华2
(1)北京大学微电子学研究院,北京 100871; (2)中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京 100080
On line measurement of maximal torsional strength of micro level structure
Ruan Yong1, Zhang Da-Cheng1, Wang Yang-Yuan1, Huan Yong2, Zhang Tai-Hua2
(1)北京大学微电子学研究院,北京 100871; (2)中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京 100080

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