微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积法制备非晶氟化碳薄膜的研究
物理学报
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物理学报  2006, Vol. 55 Issue (5): 2572-2577
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积法制备非晶氟化碳薄膜的研究
吴振宇, 杨银堂, 汪家友
西安电子科技大学微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安 710071
Study of fluorinated amorphous carbon films prepared by electron cyclotron resonance chemical vapor deposition
Wu Zhen-Yu, Yang Yin-Tang, Wang Jia-You
西安电子科技大学微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安 710071

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