磁控溅射ZnO薄膜生长的等离子体发射光谱研究
物理学报
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物理学报  2006, Vol. 55 Issue (8): 4232-4237
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
磁控溅射ZnO薄膜生长的等离子体发射光谱研究
李 勇, 孙成伟, 刘志文, 张庆瑜
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116023
Study of ZnO film growth by reactive magnetron sputtering using plasma emission spectra
Li Yong, Sun Cheng-Wei, Liu Zhi-Wen, Zhang Qing-Yu
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116023

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