一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构
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物理学报  2007, Vol. 56 Issue (10): 5691-5697
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一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构
虞益挺, 苑伟政, 乔大勇, 梁 庆
西北工业大学微/纳米系统实验室,西安 710072
A novel microstructure for in-situ measurement of residual stress in micromechanical thin films
Yu Yi-Ting, Yuan Wei-Zheng, Qiao Da-Yong, Liang Qing
西北工业大学微/纳米系统实验室,西安 710072

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