磁控溅射法合成纳米β-FeSi<sub>2</sub>/a-Si多层结构
物理学报
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物理学报  2007, Vol. 56 Issue (12): 7188-7194
凝聚物质:结构、热学和力学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
磁控溅射法合成纳米β-FeSi2/a-Si多层结构
胡 冰, 李晓娜, 董 闯, 姜 辛
Nano-β-FeSi2/a-Si multi-layered structure prepared by magnetron sputtering

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