微波等离子体化学气相沉积合成掺氮金刚石薄膜的缺陷和结构特征及其生长行为
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物理学报  2007, Vol. 56 Issue (4): 2359-2368
凝聚物质:结构、热学和力学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
微波等离子体化学气相沉积合成掺氮金刚石薄膜的缺陷和结构特征及其生长行为
E. Bauer-Grosse1, 张庆瑜2, 刘燕燕3
(1)Laboratoire de Science et Génie des Surfaces,Ecole des Mines,Nancy 54042,France; (2)大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024; (3)大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024;Laboratoire de Science et Génie des Surfaces,Ecole des Mines,Nancy 54042,France
Structure and growth behavior of low N-doped diamond film by microwave plasma assisted chemical vapor deposition
Bauer-Grosse E.1, Zhang Qing-Yu2, Liu Yan-Yan3
(1)Laboratoire de Science et Génie des Surfaces,Ecole des Mines,Nancy 54042,France; (2)大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024; (3)大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024;Laboratoire de Science et Génie des Surfaces,Ecole des Mines,Nancy 54042,France

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