光学读出微梁阵列红外成像及性能分析
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物理学报  2007, Vol. 56 Issue (5): 2529-2536
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光学读出微梁阵列红外成像及性能分析
熊志铭1, 张青川1, 伍小平1, 郭哲颖1, 董凤良1, 缪正宇1, 陈大鹏2, 李超波2
(1)中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥 230027; (2)中国科学院微电子研究所,北京 100029
Optical-readout micro-cantilever array IR imaging system and performance analysis
Xiong Zhi_Ming1, Zhang Qing_Chuan1, Wu Xiao_Ping1, Guo Zhe_Ying1, Dong Feng_Liang1, Miao Zheng_Yu1, Chen Da_Peng2, Li Chao_Bo2
(1)中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥 230027; (2)中国科学院微电子研究所,北京 100029

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