含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅳ)氮掺杂对薄膜结构的影响
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物理学报  2007, Vol. 56 Issue (5): 3004-3009
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含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅳ)氮掺杂对薄膜结构的影响
王焕友1, 徐 慧2, 邓超生2, 李明君2, 肖剑荣3
(1)中南大学材料科学与工程学院,长沙 410083; (2)中南大学物理科学与技术学院,长沙 410083; (3)中南大学物理科学与技术学院,长沙 410083;中南大学材料科学与工程学院,长沙 410083
Study on FN-DLC thin films: (Ⅳ) effect of nitrogen doping on structural properties of films
Wang Huan-You1, Xu Hui2, Deng Chao-Sheng2, Li Ming-Jun2, Xiao Jian-Rong3
(1)中南大学材料科学与工程学院,长沙 410083; (2)中南大学物理科学与技术学院,长沙 410083; (3)中南大学物理科学与技术学院,长沙 410083;中南大学材料科学与工程学院,长沙 410083

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