氢化硅薄膜介观力学行为及其与微结构内禀关联特性
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物理学报  2007, Vol. 56 Issue (8): 4834-4840
凝聚物质:结构、热学和力学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
氢化硅薄膜介观力学行为及其与微结构内禀关联特性
王 权1, 丁建宁1, 范 真1, 何宇亮2, 薛 伟3
(1)江苏大学微纳米科学技术研究中心,镇江 212013; (2)江苏大学微纳米科学技术研究中心,镇江 212013;南京大学物理系,南京 210093; (3)温州大学工业工程学院,温州 323035
Mesoscopic mechanical characterization of hydrogenated silicon thin film and the intrinsic relationship with the microstructure
Wang Quan1, Ding Jian-Ning1, Fan Zhen1, He Yu-Liang2, Xue Wei3
(1)江苏大学微纳米科学技术研究中心,镇江 212013; (2)江苏大学微纳米科学技术研究中心,镇江 212013;南京大学物理系,南京 210093; (3)温州大学工业工程学院,温州 323035

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