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半圆形容器等离子体源离子注入过程中离子动力学的两维PIC计算机模拟

刘成森 王德真 刘天伟 王艳辉

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半圆形容器等离子体源离子注入过程中离子动力学的两维PIC计算机模拟

刘成森, 王德真, 刘天伟, 王艳辉

Two-dimensional particle-in-cell simulation of the ion sheath dynamics in plasma source ion implantation of a hemispherical bowl-shaped target

Liu Cheng-Sen, Wang De-Zhen, Liu Tian-Wei, Wang Yan-Hui
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-07-23
  • 修回日期:  2008-04-14
  • 刊出日期:  2008-05-05

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