13.56 MHz 低频功率对60 MHz射频容性耦合等离子体的电特性的影响
物理学报
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物理学报  2008, Vol. 57 Issue (11): 7038-7043
流体、等离子体和放电 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
13.56 MHz 低频功率对60 MHz射频容性耦合等离子体的电特性的影响
袁强华, 辛 煜, 黄晓江, 孙 恺, 宁兆元
苏州大学物理科学与技术学院,薄膜材料江苏省重点实验室,苏州 215006
Effect of 13.56MHz low-frequency power on electrical characteristic of 60MHz radio-frequency capacitively coupled plasma
Yuan Qiang-Hua, Xin Yu, Huang Xiao-Jiang, Sun Kai, Ning Zhao-Yuan
苏州大学物理科学与技术学院,薄膜材料江苏省重点实验室,苏州 215006

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