用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜
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物理学报  2008, Vol. 57 Issue (2): 1236-1240
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用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜
何 萌, 刘国珍, 仇 杰, 邢 杰, 吕惠宾
中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京 100080
Epitaxial growth of high quality TiN thin film on Si by laser molecular beam epitaxy
He Meng, Liu Guo-Zhen, Qiu Jie, Xing Jie, Lü Hui-Bin
中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京 100080

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