一种简易的监控Si-SiO<sub>2</sub>界面质量的水银探针
物理学报
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物理学报  1977, Vol. 26 Issue (5): 281-284
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一种简易的监控Si-SiO2界面质量的水银探针
刘忠立
中国科学院半导体研究所
A SIMPLIFIED MERCURY PROBE FOR CONTROLLING THE QUALITY OF Si-SiO2 INTERFACES
LIU ZHONG-LI
中国科学院半导体研究所

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