利用溅射原子角分布规律改进平行板静电场法
物理学报
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物理学报  2008, Vol. 57 Issue (3): 1784-1787
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利用溅射原子角分布规律改进平行板静电场法
谢国锋
湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭 411105
Improving parallel electrode method by sputtering atoms' angle distribution rule
Xie Guo-Feng
湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭 411105

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