掺硅类金刚石膜的制备与力学性能研究
物理学报
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物理学报  2008, Vol. 57 Issue (3): 1935-1940
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掺硅类金刚石膜的制备与力学性能研究
赵栋才, 任 妮, 马占吉, 邱家稳, 肖更竭, 武生虎
兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室,兰州 730000
Study on the mechanical properties of diamond like carbon films with Si doping
Zhao Dong-Cai, Ren Ni, Ma Zhan-Ji, Qiu Jia-Wen, Xiao Geng-Jie, Wu Sheng-Hu
兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室,兰州 730000

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