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氮团簇离子注入单晶硅的光致发光谱研究

缪竞威 王培禄 朱洲森 袁学东 王 虎 杨朝文 师勉恭 缪 蕾 孙威立 张 静 廖雪花

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氮团簇离子注入单晶硅的光致发光谱研究

缪竞威, 王培禄, 朱洲森, 袁学东, 王 虎, 杨朝文, 师勉恭, 缪 蕾, 孙威立, 张 静, 廖雪花

Photoluminescence spectrum of monocrystalline Si implanted by nitrogen cluster ions

Miao Jing-Wei, Wang Pei-Lu, Zhu Zhou-Sen, Yuan Xue-Dong, Wang Hu, Yang Chao-Wen, Shi Mian-Gong, Miao Lei, Sun Wei-Li, Zhang Jing, Liao Xue-Hua
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-08-11
  • 修回日期:  2007-11-22
  • 刊出日期:  2008-02-05

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