硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究
物理学报
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物理学报  2008, Vol. 57 Issue (5): 3276-3280
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硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究
陈 飞, 张晓丹, 赵 颖, 魏长春, 孙 建
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津 300071
Study of one-dimensional spatial distribution of the plasma luminous radicals during depositing silicon films
Chen Fei, Zhang Xiao-Dan, Zhao Ying, Wei Chang-Chun, Sun Jian
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津 300071

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