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沉积参数对SiNx薄膜结构及阻透性能的影响

丁万昱 王华林 苗壮 张俊计 柴卫平

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沉积参数对SiNx薄膜结构及阻透性能的影响

丁万昱, 王华林, 苗壮, 张俊计, 柴卫平

Influence of deposition parameter on chemical structure and moisture resistant properties for SiNx films deposited by DC pulse magnetron sputtering

Ding Wan-Yu, Wang Hua-Lin, Miao Zhuang, Zhang Jun-Ji, Chai Wei-Ping
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-06-17
  • 修回日期:  2008-08-04
  • 刊出日期:  2009-01-20

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