高速沉积微晶硅薄膜光发射谱的研究
物理学报
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物理学报  2009, Vol. 58 Issue (2): 1344-1347
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高速沉积微晶硅薄膜光发射谱的研究
韩晓艳, 耿新华, 侯国付, 张晓丹, 李贵君, 袁育杰, 魏长春, 孙建, 张德坤, 赵颖
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071
An optical emission spectroscopy study on the high rate growth of microcrystalline silicon films
Han Xiao-Yan, Geng Xin-Hua, Hou Guo-Fu, Zhang Xiao-Dan, Li Gui-Jun, Yuan Yu-Jie, Wei Chang-Chun, Sun Jian, Zhang De-Kun, Zhao Ying
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071

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