无基底焦平面阵列的红外成像性能分析
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物理学报  2009, Vol. 58 Issue (2): 852-859
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无基底焦平面阵列的红外成像性能分析
程腾1, 张青川1, 伍小平1, 史海涛1, 高杰1, 陈大鹏2
(1)中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥 230027; (2)中国科学院微电子研究所,北京 100029
Performance analysis of the substrate-free focal plane array in infrared imaging
Cheng Teng1, Zhang Qing-Chuan1, Wu Xiao-Ping1, Shi Hai-Tao1, Gao Jie1, Chen Da-Peng2
(1)中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥 230027; (2)中国科学院微电子研究所,北京 100029

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