椭圆偏振技术研究VHF-PECVD高速沉积微晶硅薄膜的异常标度行为
物理学报
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物理学报  2009, Vol. 58 Issue (6): 4123-4127
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椭圆偏振技术研究VHF-PECVD高速沉积微晶硅薄膜的异常标度行为
谷锦华, 丁艳丽, 杨仕娥, 郜小勇, 陈永生, 卢景霄
郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州 450052
A spectroscopic ellipsometry study of the abnormal scaling behavior of high-rate-deposited microcrystalline silicon films by VHF-PECVD technique
Gu Jin-Hua, Ding Yan-Li, Yang Shi-E, Gao Xiao-Yong, Chen Yong-Sheng, Lu Jing-Xiao
郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州 450052

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