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LPCVD法制备的高纯半绝缘4H-SiC晶体ESR谱特性

程萍 张玉明 郭辉 张义门 廖宇龙

引用本文:
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LPCVD法制备的高纯半绝缘4H-SiC晶体ESR谱特性

程萍, 张玉明, 郭辉, 张义门, 廖宇龙

ESR characteristics of high-quality semi-insulating 4H-SiC crystal prepared by LPCVD

Cheng Ping, Zhang Yu-Ming, Guo Hui, Zhang Yi-Men, Liao Yu-Long
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-09-25
  • 修回日期:  2008-12-01
  • 刊出日期:  2009-03-05

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