等离子体发射光谱诊断用于射频磁控溅射GaP薄膜的工艺参数优化
物理学报
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物理学报  2009, Vol. 58 Issue (7): 5022-5028
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等离子体发射光谱诊断用于射频磁控溅射GaP薄膜的工艺参数优化
李阳平, 刘正堂
西北工业大学材料学院,西安 710072
Plasma emission diagnostics for the optimization of deposition parameters in RF magnetron sputtering of GaP film
Li Yang-Ping, Liu Zheng-Tang
西北工业大学材料学院,西安 710072

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