一种可溯源的光谱椭偏仪标定方法
物理学报
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物理学报  2010, Vol. 59 Issue (1): 186-191
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一种可溯源的光谱椭偏仪标定方法
张继涛1, 李岩1, 罗志勇2
(1)清华大学精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084; (2)中国计量科学研究院,北京 100013
A traceable calibration method for spectroscopic ellipsometry
Zhang Ji-Tao1, Li Yan1, Luo Zhi-Yong2
(1)清华大学精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084; (2)中国计量科学研究院,北京 100013

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