射频反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜摩擦特性研究
物理学报
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物理学报  2010, Vol. 59 Issue (12): 8920-8926
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射频反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜摩擦特性研究
王培君, 江美福, 杜记龙, 戴永丰
苏州大学物理系,苏州 215006
Frictional properties of fluorinated diamond-like carbon films prepared by radio frequency reactive magnetron sputtering
Wang Pei-Jun, Jiang Mei-Fu, Du Ji-Long, Dai Yong-Feng
Department of Physics, Suzhou University, Suzhou 215006, China

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