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用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究

王波 梁中翥 孔延梅 梁静秋 付建国 郑莹 朱万彬 吕金光 王维彪 裴舒 张军

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用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究

王波, 梁中翥, 孔延梅, 梁静秋, 付建国, 郑莹, 朱万彬, 吕金光, 王维彪, 裴舒, 张军

Design and fabrication of micro multi-mirrors based on silicon for micro-spectrometer

Wang Bo, Liang Zhong-Zhu, Kong Yan-Mei, Liang Jing-Qiu, Fu Jian-Guo, Zheng Ying, Zhu Wan-Bin, Lü Jin-Guang, Wang Wei-Biao, Pei Shu, Zhang Jun
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-05-06
  • 修回日期:  2009-06-23
  • 刊出日期:  2010-01-05

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