氦离子注入4H-SiC晶体的纳米硬度研究
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物理学报  2010, Vol. 59 Issue (6): 4130-4135
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氦离子注入4H-SiC晶体的纳米硬度研究
张崇宏1, 张勇2, 周丽宏2, 李炳生2, 杨义涛2
(1)中国科学院近代物理研究所,兰州 730000; (2)中国科学院近代物理研究所,兰州 730000;中国科学院研究生院,北京 100049
Study on nanohardness of helium-implanted 4H-SiC
Zhang Chong-Hong1, Zhang Yong2, Zhou Li-Hong2, Li Bing-Sheng2, Yang Yi-Tao2
(1)中国科学院近代物理研究所,兰州 730000; (2)中国科学院近代物理研究所,兰州 730000;中国科学院研究生院,北京 100049

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