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衬底加温和后续热退火法形成纳米硅晶粒成核势垒的比较

邓泽超 罗青山 褚立志 丁学成 梁伟华 傅广生 王英龙

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衬底加温和后续热退火法形成纳米硅晶粒成核势垒的比较

邓泽超, 罗青山, 褚立志, 丁学成, 梁伟华, 傅广生, 王英龙

Comparison of nucleation energy of nanoparticles Si formation in substrate heating and subsequent thermal annealing

Deng Ze-Chao, Luo Qing-Shan, Chu Li-Zhi, Ding Xue-Cheng, Liang Wei-Hua, Fu Guang-Sheng, Wang Ying-Long
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-07-02
  • 修回日期:  2009-11-24
  • 刊出日期:  2010-07-15

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