射频磁控溅射法制备ZnS多晶薄膜及其性质
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物理学报  2010, Vol. 59 Issue (8): 5749-5754
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
射频磁控溅射法制备ZnS多晶薄膜及其性质
谢婧, 黎兵, 李愿杰, 颜璞, 冯良桓, 蔡亚平, 郑家贵, 张静全, 李卫, 武莉莉, 雷智, 曾广根
四川大学材料科学与工程学院,成都 610064
Study of ZnS thin films prepared by RF magnetron sputtering technique
Xie Jing, Li Bing, Li Yuan-Jie, Yan Pu, Feng Liang-Huan, Cai Ya-Ping, Zheng Jia-Gui, Zhang Jing-Quan, Li Wei, Wu Li-Li, Lei Zhi, Zeng Guang-Gen
College of Materials Science and Engineering ,Sichuan University ,Chengdu 610064 ,China

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