铒离子注入6H-SiC的横向离散研究
物理学报
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物理学报  2010, Vol. 59 Issue (9): 6390-6393
凝聚物质:结构、热学和力学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
铒离子注入6H-SiC的横向离散研究
秦希峰, 王凤翔, 梁毅, 付刚, 赵优美
山东建筑大学理学院,济南 250101
Investigation of the lateral spread of Er ions implanted in 6H-SiC
Qin Xi-Feng, Wang Feng-Xiang, Liang Yi, Fu Gang, Zhao You-Mei
College of Science, Shandong Jianzhu University, Jinan 250101,China

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