反应气压对直流磁控反应溅射制备的氧化银薄膜的结构和光学性质的影响
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物理学报  2011, Vol. 60 Issue (1): 016110
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反应气压对直流磁控反应溅射制备的氧化银薄膜的结构和光学性质的影响
张增院, 郜小勇, 冯红亮, 马姣民, 卢景霄
郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州 450052
Effect of the reactive pressure on the structure and optical properties of silver oxide films deposited by direct-current reactive magnetron sputtering
Zhang Zeng-Yuan, Gao Xiao-Yong, Feng Hong-Liang, Ma Jiao-Min, Lu Jing-Xiao
Key Laboratory of Materials Physics of Ministry of Education, School of Physics and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, China

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