脉冲磁控溅射法制备单斜相氧化铒涂层
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物理学报  2011, Vol. 60 Issue (3): 036805
凝聚物质:结构、力学和热学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
脉冲磁控溅射法制备单斜相氧化铒涂层
李新连, 吴平, 邱宏, 陈森, 宋斌斌
北京科技大学应用科学学院物理系,北京 100083
Monoclinic phase of erbium oxide coatings fabricated by pulsed magnetron sputtering
Li Xin-Lian, Wu Ping, Qiu Hong, Chen Sen, Song Bin-Bin
Department of Physics, School of Applied Science, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China

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