磁控溅射制备Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TiO<sub>2</sub>薄膜形貌的研究
物理学报
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物理学报  2011, Vol. 60 Issue (3): 037702
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
磁控溅射制备Y2O3-TiO2薄膜形貌的研究
曹月华, 狄国庆
薄膜材料江苏省重点实验室,苏州大学物理科学与技术学院,苏州 215006
Analysis of Y2O3 doped TiO2 films topography prepared by radio frequency magnetron sputtering
Cao Yue-Hua, Di Guo-Qing
Jiangsu Key Laboratory of Thin Films, Department of Physics, Soochow University, Suzhou 215006 China

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