溅射制备Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>薄膜的表面形貌与光学特性
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物理学报  2011, Vol. 60 Issue (3): 038101
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溅射制备Ta2O5薄膜的表面形貌与光学特性
狄国庆
薄膜材料江苏省重点实验室,苏州大学物理科学与技术学院,苏州 215006
Surface morphology and optical properties of Ta2O5 films prepared by radio frequency sputtering
Di Guo-Qing
Jiangsu Key Laboratory of Thin Films, Department of Physics, Soochow University, Suzhou 215006, China

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