基于光子晶体分光的气敏传感器研究
物理学报
引用检索 快速检索
物理学报  2011, Vol. 60 Issue (5): 054215
电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
基于光子晶体分光的气敏传感器研究
孔延梅, 高超群, 景玉鹏, 陈大鹏
中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心,微电子器件与集成技术重点实验室,北京 100029
The research of the air-sensitive sensor based on thephotonic crystal beam splitter
Kong Yan-Mei, Gao Chao-Qun, Jing Yu-Peng, Chen Da-Peng
Integrated Circuit Advanced Process Center, Key Lab of Microelectronics Device and Integration Technology,Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China

版权所有 ©  物理学报
地址:北京市603信箱,《物理学报》编辑部 邮编:100190
电话:010-82649294,82649829,82649863   E-mail:apsoffice@iphy.ac.cn
网络系统维护电话:010-62662699-1; 技术支持邮箱 linjl@magtech.com.cn