循环氧化/退火制备GeOI薄膜材料及其性质研究
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物理学报  2011, Vol. 60 Issue (7): 078102
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循环氧化/退火制备GeOI薄膜材料及其性质研究
胡美娇, 李成, 徐剑芳, 赖虹凯, 陈松岩
厦门大学物理系,半导体光子学研究中心,厦门 361005
Formation and properties of GeOI prepared by cyclic thermal oxidation and annealing processes
Hu Mei-Jiao, Li Cheng, Xu Jian-Fang, Lai Hong-Kai, Chen Song-Yan
Department of Physics, Semiconductor Photonics Research Center, Xiamen University, Xiamen 361005, China

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